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        精密LCR數(shù)字電橋的結(jié)構(gòu)及工藝
        點(diǎn)擊次數(shù):1070 更新時(shí)間:2021-11-25
          精密LCR數(shù)字電橋的概念數(shù)字電橋就是能夠測(cè)量電感,電容,電阻,阻抗的儀器,這是一個(gè)傳統(tǒng)習(xí)慣的說(shuō)法,早期的阻抗測(cè)量用的是真正的電橋方法,隨著現(xiàn)代模擬和數(shù)字技術(shù)的發(fā)展,早已經(jīng)淘汰了這種測(cè)量方法,但LCR電橋的叫法一直沿用至今。如果是使用了微處理器的LCR電橋則叫LCR數(shù)字電橋。一般用戶又稱這些為:LCR測(cè)試儀、LCR電橋、LCR表、LCRMeter等等。
          精密LCR數(shù)字電橋的結(jié)構(gòu):
          1.測(cè)試夾:被測(cè)元件由此接入;
          2.讀數(shù)顯示器:測(cè)量值由4位7段LED顯示器顯示;
          3.量程指示:顯示被測(cè)量的單位(單位右側(cè)的小方塊為紅色LED指示燈);
          4.功能控制按鍵:測(cè)量控制按鍵由6個(gè)功能鍵組成(每個(gè)按鍵內(nèi)的小方塊為紅色LED指示燈);
          5.電源輸入插座;
          6.電源開關(guān)。
          精密LCR數(shù)字電橋工作原理數(shù)字電橋的測(cè)量對(duì)象為阻抗元件的參數(shù),包括交流電阻R、電感L 及其品質(zhì)因數(shù)Q,電容C及其損耗因數(shù)D。因此,又常稱數(shù)字電橋?yàn)閿?shù)字式LCR測(cè)量?jī)x。其測(cè)量用頻率自工頻到約100千赫?;緶y(cè)量誤差為0.02%,一般均在0.1%左右。這種特殊的蝕刻技術(shù)可選擇性地從晶圓的背面除去一部分硅,從而生成由堅(jiān)固的硅邊框包圍的、數(shù)以百計(jì)的方形薄膜。而在晶圓的正面,每一個(gè)小薄膜的每個(gè)邊上都植入了一個(gè)壓敏電阻,用金屬線把小薄片周邊的四個(gè)電阻連接起來(lái)就形成一個(gè)惠斯登電橋。使用鉆石鋸從晶圓上鋸下各個(gè)傳感器。這時(shí),硅傳感器已經(jīng)初具形態(tài),但還需要配備壓力端口和連接引線方可使用。

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